Epitaxial Layer에 대하여
Source: http://www.siliconfareast.com/epitaxy.htm#1.Epitaxy or epitaxial growth is the process of depositing a thin layer (0.5 to 20 microns) of single crystal material over a single crystal substrate, usually through chemical vapor deposition (CVD). In semiconductors, the deposited film is often the same material as the substrate, and the process is known as homoepitaxy, or simply, epi. An exam..
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2012. 9. 11. 00:24
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